Το Ινστιτούτο για την έρευνα οπτικών τηλεπικοινωνιών παραγγέλνει σύστημα ψεκασμού ακτίνων ιόντων για τη δημιουργία επικαλύψεων με λέιζερ και μικρο-οπτικών συσκευών.
Η HHI θα χρησιμοποιήσει την τεχνολογία IBS της Veeco για τη δημιουργία επικαλύψεων με λέιζερ.
Όργανα Veeco έχει ανακοινώσει ότι έχει αποστείλει το σύστημα Spector Ion Beam Sputtering (IBS) και το Sirius Optical Monitor System στο Ινστιτούτο Fraunhofer για Τηλεπικοινωνίες(HHI).
Το ινστιτούτο, που εδρεύει στο Βερολίνο της Γερμανίας, λέει ότι θα χρησιμοποιήσει αυτήν την τεχνολογία IBS «για την ανάπτυξη και παραγωγή επικαλύψεων με λέιζερ και άλλων μικρο-οπτικών συσκευών».
«Η ανάπτυξη εξελιγμένων μικρο-οπτικών συσκευών απαιτεί εξαιρετική τεχνολογία sputtering», σχολίασε η Greta Ropers, επικεφαλής της ομάδας υποστήριξης και συσκευασίας για την Fraunhofer.
"Το σύστημα Spector της Veeco, σε συνδυασμό με το Sirius OMS, θα διασφαλίσει ότι αναπτύσσουμε και παράγουμε συσκευές παγκόσμιας κλάσης με την υψηλότερη απόδοση και επαναληψιμότητα διεργασιών σε μια αυτοματοποιημένη, καθιερωμένη πλατφόρμα."
Οπτικές λεπτές μεμβράνες
Η πλατφόρμα Spector παράγει υψηλής ποιότητας οπτικά λεπτά φιλμ με βελτιωμένα επίπεδα παραγωγικότητας και απόδοσης, σύμφωνα με τους πελάτες. Σε αντίθεση με τις επικαλυμμένες με εξάτμιση επικαλύψεις, οι λεπτές μεμβράνες με ακτίνα ιόντων εναποτίθενται σε υψηλές ενέργειες, προσφέροντας εξαιρετικό έλεγχο πάχους και χαμηλές πυκνότητες ελαττωμάτων για εφαρμογές επικάλυψης με λέιζερ. Το Sirius OMS ενισχύει την ικανότητα πλατφόρμας Spector συνδέοντας τον έλεγχο παρακολούθησης ευρυζωνικής σύνδεσης με τη σταθερότητα των μεμβρανών ιόντων που εναποτίθενται .
«Ο παγκόσμιος ηγέτης της Fraunhofer HHI στην ανάπτυξη επικαλύψεων με λέιζερ επόμενης γενιάς και μικρο-οπτικών συσκευών», δήλωσε ο Δρ Adrian Devasahayam, αντιπρόεδρος και γενικός διευθυντής της επιχείρησης Advanced Deposition and Etch (AD&E) της Veeco. "Το σύστημα Spector παρέχει απαράμιλλη ποιότητα και ευελιξία για λεπτές μεμβράνες οπτικής επίστρωσης ακριβείας και θα επιταχύνει τους αναπτυξιακούς τους στόχους."
Η χρηματοδότηση για αυτό το έργο χορηγήθηκε από το Forschungsfabrik Mikroelektronik, ένα εργοστάσιο έρευνας τοποθεσίας για μικροηλεκτρονική και νανοηλεκτρονική, που θέτει σε κίνδυνο έντεκα ινστιτούτα εντός του Ομίλου Fraunhofer μαζί με τις καινοτομίες για την μικροηλεκτρονική υψηλής απόδοσης και το Ferdinand-Braun-Institut, το Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Το σύστημα πωλήθηκε σε συνεργασία με τον Ευρωπαίο συνεργάτη καναλιών της Veeco,Veonis Technologies.
Ώρα δημοσίευσης: Οκτ-31-2019